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                                  超凈高純試劑系列
                                  光刻膠配套試劑系列
                                  江化概況
                                  生產設備
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                                  酸堿類
                                  品名 英文名 分子式 級別
                                  SL UL VL(CMOS) EL
                                  過氧化氫 Hydrogen Peroxide,30% H2O2
                                  硫酸 Sulfuric Acid H2SO4
                                  鹽酸 Hydrochloric Acid HCL
                                  硝酸 Nitric Acid,70% HNO3
                                  發煙硝酸 Nitric Acid Fuming HNO3
                                  磷酸 Phosphoric Acid H3PO4
                                  氫氟酸 Hydrofluoric Acid HF
                                  冰乙酸 Acetic Acid,Glacial CH3COOH
                                  氨水 Ammonium Hydroxide NH3·H2O
                                  氟化銨 Ammonium Fluoride,40% NH4F
                                  氫氧化鉀溶液 Potassium Hydroxide Liquid KOH
                                  C-400膽堿清洗劑 Choline Hydroxide C5H15NO2
                                  氫氧化鈉溶液 Sodium Hydroxide Liquid NaOH
                                  蝕刻液
                                  品名 英文名 分子式 級別
                                  SL UL VL(CMOS) EL
                                  氟化銨腐蝕液(BOE) Ammonium Fluoride Etchant NH4F·HF
                                  氟化銨腐蝕液(BOES) Ammonium Fluoride Etchant(with Surfactant) NH4F·HF
                                  鋁蝕刻液 Aluminum Etchant H3PO4·HNO3·CH3COOH
                                  鉬蝕刻液 Mo Etchant H3PO4·HNO3·CH3COOH
                                  鉬鋁/鉬鋁鉬蝕刻液 MoAl/MoAlMo Etchant H3PO4·HNO3·CH3COOH
                                  硅蝕刻液(MAE) Silicon Etchant HNO3·HF·CH3COOH
                                  金蝕刻液 Au Etchant KI
                                  銀蝕刻液 Ag Etchant H3PO4·HNO3  

                                  鈦蝕刻液

                                  Ti Etchant HF
                                  鉻蝕刻液 Cr Etchant HNO3CAN    
                                  酸性剝離液(AP-2X) Nanostrip 2XP H2SO5  
                                  氫氟酸腐蝕液DHF Hydrofluoric Acid(with Surfactant) HF
                                  ITO蝕刻液(王水) ITO Etchant HNO3·HCI    
                                  ITO蝕刻液(草酸) ITO Etchant H2C2O4    
                                  ITO蝕刻液(FeCl3) ITO Etchant FeCl3·HCl
                                  溶劑
                                  品名 英文名 分子式 級別
                                  SL UL VL(CMOS) EL
                                  甲醇 Methanol CH3OH
                                  乙醇 Ethanol C2H5OH
                                  異丙醇 IPA CH3CHOHCH3
                                  丙酮 Acetone (CH3)2CO
                                  醋酸丁酯 n-Butyl Acetate C6H12O2
                                  甲苯 Toluene C6H5CH3
                                  二甲苯 Xylenes C8H10
                                  三氯乙烯 Trichloroethylene C2HCl3
                                  環已烷 Cyclohexane C6H12
                                  N-甲基吡咯烷酮 N-methyl-2-pyrrolidinone CH3N(CH2)3CO
                                  丙二醇單甲醚 PGME PGME
                                  丙二醇單甲醚醋酸酯 PGMEA PGMEA
                                  EL級:優于美國SEME C1標準,控制1μm顆粒,控制十多個金屬元素,單項金屬元素控制在100PPb。
                                  VL級:介于EL與UL之間,控制0.5μm顆粒,控制三十多個金屬元素,單項金屬元素控制在10~100PPb。
                                  UL級:等同于美國SEME C7標準,控制0.5、0.3μm顆粒,控制三十多個金屬元素,單項金屬元素控制在10PPb以下。
                                  SL級:等同于美國SEME C8標準,控制0.3μm顆粒,控制三十多個金屬元素,單項金屬元素控制在1PPb以下。
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